针对直流放电等应用场景，星焓科技 提供一种大电流、高功率的阴极，采 用钨等常见金属工质工作过程简单高 效，可满足多次快速使用需求，适用 于电子电流需求较大的等离子体放电 地面测试、实验室研究等应用场景

星焓科技提供射频阴极电子源XHS- RFC，可采用氙气、氪气、氩气等常 见惰性气体工质，启动过程简单高效， 可满足多次快速使用需求，适用于射 频等离子体放电地面测试、实验室 研究等应用场景

星焓科技提供空心阴极电子源XHS- HC，采用氙气、氪气、氩气等常见 惰性气体工质，可作为霍尔、离子等 等离子体系统的核心元件使用，启动 过程简单高效，可满足多次快速使用 需求，适用于等离子体放电地面测试、 实验室研发等应用场景

阻滞能量分析仪测量系统 XHINS-RPA，可用于等离子体束流特性诊断中离子能量和离子通量的测量，可进一步分析离子能量分布函数，适用于表面处理等领域束流能量分布均匀性评估等场景。 l 离子能量 1~2000 eV l 能量分辨率 1 eV l 离子电流 DC100 mA MAX l 离子通量 0.1 μA~8 mA/mm2 l 探头尺寸 d20 mm - D70 mm