法拉第探针测量系统XHINS-FP，用于等离子体束流特性诊断中离子电流分布测量，也可用于进一步评估离子束刻蚀设备束流密度均匀性、分析空间电推进系统的工质利用率、能量损失、束流发散、推力矢量偏心等特性。法拉第探针测量系统产品系列还可以提供一维、二维、圆周等分布形式的法拉第探针阵列，阵列版本软件可显示等离子体离子密度空间分布云图。 l 离子电流密度 1μA/cm2~100mA/cm2

星焓科技提供考夫曼离子源XHS-KFIS， 可采用氙气、氪气、氩气等常见惰性气体 工质，工作过程简单高效，适用于等离子 体表面处理、地面测试、实验室研发等应 用场景

星焓科技提供阴极弧离子源X H S - CAIS，采用固体金属工质，工作过程 简单高效，适用于等离子体放电地面 测试、实验室试验等应用场景；也可 作为一种结构紧凑、低功耗的电推进 系统为卫星轨道转移、位置保持、末 期离轨等在轨任务提供动力

星焓科技提供射频离子源XHS-RFIS，可 采用氙气、氪气、氩气等常见惰性气体工 质，工作过程简单高效，适用于射频等离 子体放电地面测试、实验室试验等应用场 景；也可作为一种结构紧凑、低功耗的电 推进系统为卫星轨道转移、位置保持、末 期离轨等在轨任务提供动力