朗缪尔双探针测量系统XHINS-DLP是朗缪尔单探针的一种变形， 以其中一根探针为参考电极。朗缪尔双探针测量系统可测量等离子体参数电子密度、离子密度、电子温度等，适用于大气环境下等离子体射流诊断等环境参考电极缺失或距离较远的应用场景，可有效提高测量精度。 l 等离子体密度 106/cm3 ~ 1014/cm3 l 电子温度 0.1eV ~ 15eV

朗缪尔三探针测量系统XHINS-TLP是朗缪尔单探针的一种变形，由三个相同尺寸的探针构成，中间探针处于悬浮状态。朗缪尔三探针测量系统适用于放电周期内等离子体瞬态参数观察，可以同时测量并反映等离子体密度、电子温度等参数随时间的变化规律。 l 等离子体密度 106/cm3 ~ 1014/cm3 l 电子温度 0.1eV ~ 15eV l 采样频率 最高40 MHz

朗缪尔单探针测量系统XHINS-SLP，可用于测量等离子体参数电子密度、离子密度、电子温度、空间电势、悬浮电势、电子能量分布函数（EEDF）等，可提供包含朗缪尔单探针、双探针、三探针、探针阵列等不同形式，圆柱型、平面型、球型等不同结构的朗缪尔探针测量系统。朗缪尔单探针测量系统具有测量参数全面、普适性强等特点，可与其他类型组合使用以进一步分析各类深度需求。 等离子体密度 106/cm3 ~ 1014/cm3 电子温度 0.1eV ~ 15eV 等离子体电势 -100V ~ +150V 悬浮电势 -100V ~ 145V 电子能量分布函数（EEDF）0.1eV ~ 150eV

发射探针测量系统 XHINS-EP，可用于测量等离子体电子温度、空间电势等参数。发射探针测量空间电势更为精确，信噪比更高。发射探针测量系统产品系列还可以提供一维、二维、圆周等分布形式的发射探针探针阵列，阵列版本软件可显示等离子体空间电势/电子温度空间分布云图。 l 等离子体空间电势 -100V ~ +150V l 电子温度 0.1eV ~ 15eV

磁探针测量系统 XHINS-MP，可用于测量等离子体内部磁场变化等参数，适用于磁场动态构型测量、磁场均匀性评估等场景。 l 磁感应强度 1~1500 Gs

法拉第探针测量系统XHINS-FP，用于等离子体束流特性诊断中离子电流分布测量，也可用于进一步评估离子束刻蚀设备束流密度均匀性、分析空间电推进系统的工质利用率、能量损失、束流发散、推力矢量偏心等特性。法拉第探针测量系统产品系列还可以提供一维、二维、圆周等分布形式的法拉第探针阵列，阵列版本软件可显示等离子体离子密度空间分布云图。 l 离子电流密度 1μA/cm2~100mA/cm2

阻滞能量分析仪测量系统 XHINS-RPA，可用于等离子体束流特性诊断中离子能量和离子通量的测量，可进一步分析离子能量分布函数，适用于表面处理等领域束流能量分布均匀性评估等场景。 l 离子能量 1~2000 eV l 能量分辨率 1 eV l 离子电流 DC100 mA MAX l 离子通量 0.1 μA~8 mA/mm2 l 探头尺寸 d20 mm - D70 mm

E×B 探针测量系统XHINS-EBP，能够测量等离子体中不同电荷量离子的比例，可用于单一/混合工质等离子体的组分/速度分析，可进一步分析放电效率/能量利用率等参数；也作为韦恩速度筛选器用于特定能量/速度离子的筛选，为等离子体源优化及仿真提供参考依据。 l 扫描电压 0V ~ 600 V l 微电流 0~2μA l 电流测试精度 ≤±1% l 离子价态 ≥2+